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检测标准：

1 磷化氢纯度 GB/T 14851-20094.2 磷化氢纯度

2 砷化氢含量 GB/T14851-2009附录A 砷化氢含量

3 氮含量 GB/T14851-2009附录A 氮含量

4 氧（氩）含量 GB/T14851-2009附录A 氧（氩）含量

5 水分含量 GB/T 14851-20094.8 水分含量

6 杂质总含量 GB/T 14851-20094.2 杂质总含量

7 金属离子 GB/T 14851-20094.9 金属离子

8 电子工业用气体 磷化氢 GB/T 14851-20094.2 磷化氢纯度

9 电子工业用气体 磷化氢 GB/T14851-2009附录A 砷化氢含量

10 电子工业用气体 磷化氢 GB/T14851-2009附录A 氮含量

11 电子工业用气体 磷化氢 GB/T14851-2009附录A 氧（氩）含量

12 电子工业用气体 磷化氢 GB/T 14851-20094.8 水分含量

13 电子工业用气体 磷化氢 GB/T 14851-20094.2 杂质总含量

14 电子工业用气体 磷化氢 GB/T 14851-20094.9 金属离子