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检测标准：

1 气体激光器总规范 SJ 20531-1995 A2 脉冲宽度

2 激光光束宽度、发散角的测试方法以及横模的鉴别方法 GB/T 13739-2011 5.1 光束功率（能量）密度分布

3 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 301 波长动态稳定性

4 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 205 脉冲能量不稳定度

5 气体激光器总规范 SJ 20531-1995 A1 (中心、峰值)波长

6 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 202 脉冲宽度

7 气体激光器总规范 SJ 20531-1995 A5 输出功率不稳定度

8 气体激光器总规范 SJ 20531-1995 A1 谱宽度（激光线宽）

9 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 112、113、114、115 光束宽度或光束直径

10 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 107 光束指向不稳定性（光束方向偏移）

11 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 116 偏振度

12 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 104、105 输出（连续）功率

13 气体激光器总规范 SJ 20531-1995 A3 脉冲重复频率

14 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 301 (中心、峰值)波长

15 气体激光器参数测试方法 SJ 20762-1999 301 谱宽度（激光线宽）